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      天车
      顺利获得智能算法调度软件的控制,OHT天车代替洁净室车间人员进行晶圆载具的搬运。提高生产效率和生产质量,实现智能制造,节约生产成本。

      可选配置:FOUP / POD / Reticle OHT
      功能亮点:

      更高产:ADT<130s

      更快速:直行5.5m/s,过岔路3.5m/s不减速(行业最快)

      更平稳:振动<0.35G

      更轻薄:厚度895mm(行业最薄)

      更易用:智能示教<2min

      更耐久:MCBF>50000次

      更高效:取放货7s

      更可靠:热备架构零停机

      更智能:AI算法提效30%,支持全局动态调度

      更便捷:MTTR<10min

      软件描述
      MSTC天车控制系统
      MeetFuture Smart Transport Controller
      OHT路径规划及调度,用路径算法找出多路线中的最佳路径,并时实监控交通避开事故点。对接MES上位机,将下发的传输和控制命令,转换为对AMHS的控制并向HOST上报相关状态信息。

      应用场景 : OHT路径规划及动态调度控制
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      OHT轨道系统
      产品功能
      OHT轨道吊挂于无尘室天花板,轨道系统包含直轨、弯轨、非接触供电、通信网络等。轨道连通各工作工位,满足安装强度、精度、洁净度、振动、通行效率等要求,确保OHT天车在轨道上面高效稳定运行,实现天车点到点搬送能力。

      可选配置:单层轨道/双层轨道,非冗余供电/冗余供电,N型、Y型、R型等弯轨
      功能亮点:

      双层轨道系统,实现更复杂的搬送需求

      轨道交通控制系统(TCU),控制OHT天车在轨道上有序通行,保证搬送效率

      CPS 非接触供电系统,供电冗余技术

      塔式升降机
      产品功能
      塔式升降机顺利获得升降机内部的链条实现天车投入轨道或降下维修,采用封闭设计,完成天车轨道与地面工装小车的连接。

      型号:MLT-T30、 MLT-T30-A
      功能亮点:

      封闭设计保证安全

      具备安全检查传感器

      地面接口设置防护门

      载具吊装校准平台
      产品功能
      天车矫正平台具备对小车放置产品初始位置的矫正功能。矫正平台可对(OHB(左)、 OHB(右)、STK、LPS)四种工位的放置位置进行矫正。

      配置:TST-T10 8寸/12寸
      功能亮点:

      使用场景广泛

      便于操作

      皮带式升降机
      产品功能
      皮带式升降机用于天车投入轨道或降下维修,顺利获得皮带传输的方式连接地面工装小车,开放式设计,占用空间小。

      型号:MLT-B20
      功能亮点:

      使用场景灵活自由

      节省空间

      具备安全检查传感器

      便于操作

      防火门
      产品功能
      安装于FAB厂相邻车间及连廊与车间连接处,火警系统确认火灾后向天车系统发送信号,防火门接收信号后关闭,能有效阻挡FAB内的火情。

      型号:MFD-100
      功能亮点:

      耐火极限3小时

      顺利获得UL防火认证